歐傑電子影像能譜儀 ESCA000700
auger

Auger之電子槍:LEG 300-F electron column,最大電壓為25kV.

能量分析器:採spherical sector analyser加上multi-channeltron array,其theoretical energy resolution為20meV~8eV(CAE mode), 0.02%~2.0%(CRR mode).


技術員操作服務
  1. 每星期一、二於上、下午時段由技術員操作服務.

  2. 請先上網預約,詳細說明待測樣品之性質和委託項目,待儀器負責教授簽核後,依申請順序服務.

  3. 請以實驗室為單位,一位User只能預約一次,每次送測最多以3個樣品為限,待量測完畢後才可再預約.

  4. 已測試完之樣品序號,將公佈於網站上,送檢單位必須事先在其送測樣品序號的前15號出現於網站公告時,將樣品送達.

  5. 獲取微區定位圖譜或影像時,送測單位必須有人伴隨在側.

  6. 有關數據結果之解釋,請自行負責.

  7. 送測樣品若因未事先書面要求樣品前置處理,而致無法獲取所欲得之圖譜,送檢單位仍需依工作時數付費.



自行上機操作
  1. AUGER每星期三、四於上、下午及每星期一至五的晚上時段由取得¨合格執照之博士生¨自行上機操作服務.

  2. 自行操作之儀器使用預約,以實驗室為單位,一位User只能預約一次,待量測完畢後才可再預約.

  3. 自行操作者每次使用前需先填妥申請單(依時段預約),經核准後,依序上機操作使用量測完畢後才可再預約.

  4. 若因故無法在預約時段使用儀器時,應至少在預約時段前二星期上網取消預約,否則仍以原預約時段付費.

  5. 樣品進樣時,儀器系統之各個chamber的壓力需符合下列規定:Entry chamber< 1×10- 3torr,Prep chamber< 2×10-8torr.

  6. 樣品分析前,應確定儀器系統之analysis chamber壓力<8×10-10torr,方可打開電子鎗及偵測器之電源開關,進行分析.

  7. 進行Depth Profile, sputter時間以1小時為限.

  8. 使用此儀器時,任何非正常使用所造成之損壞,自行操作者之指導教授及其主管應負擔儀器設備維修費用.

  9. 儀器使用者必須確實填寫實驗紀錄簿.

  10. 禁止攜帶食物、飲料入儀器室食用,且需保持儀器室的整潔.

  11. 實驗完成後,請把樣品退出,不得留置於Analysis chamber.

  12. 實驗完成後應關掉Prep chamber燈及Analysis chamber.


樣品規格

樣品不得具有磁性、毒性、輻射性或對真空腔體零件造成蝕損.

樣品以低非揮發性為限,避免對超高真空系統造成污染.

面積小於0.8cm * 0.8cm之正方形,或直徑< 1cm之圓形,厚度< 0.2cm.

代測服務之樣品請送兩件, 以供測試發生困難時之需.

粉粒體試樣在送測前,應事先打成片.

樣品中若含有高揮發性分子或coating,請務必事先自行抽除,否則送測樣品應事前面要求做樣品前置處理.

分析測試時,若發現送測樣品不符合規定,樣品將被退回,並依工作時數付費.



取得合格執照之辦法

為了使此貴重儀器發揮最大之服務及教學的功用,本儀器將對外開放,以供主要使用者之研究室自行操作.       

辦法:

1.

各研究室應由指導教授或單位主管書面推薦一名博士生,提出申請.

2.

該博士生應填寫¨教育訓練申請單¨ 經由儀器負責教授排定訓練時間.

3.

本儀器將提供教育訓練並以¨影帶教學¨、¨操作觀摩¨及¨練操作¨方式,達到主要使用者之研究室自行操作的目的.
  • 影帶教學:由影帶中瞭解儀器裝置及操作.

  • 操作觀摩:操作觀摩需4次以上(觀摩總時數為12小時)與取

  • 得合格執照之使用者,學習其操作技巧.

  • 練習操作:受訓者須在指派之合格執照使用者指導下,本身實

  • 際操作5次以上,技術熟練,且表現優異者才可參加考試.

  • 練習操作之費用,皆照技術員操作服務計費.

  • 儀器操作考試合格者,即取得¨使用執照¨.

4.

取得合格執照之使用者¨每次使用前,須先填寫自行操作儀器使用申請單,經核准後才可使用.

5.

使用本儀器時,任何非正常使用所造成之損壞,自行操作者之指導教授及其主管應負儀器設備維修費用.

6.

取得¨合格執照之使用者¨,若經2個月未操作本儀器則其資格需重新認定.

7.

收費標準:學校單位每小時1200,非學校單位每小時2500.

8.

受訓及使用期間須遵守實驗室相關規定.


 
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