Auger Electron Microprobe
auger

Auger之電子槍:LEG 300-F electron column,最大電壓為25kV.

能量分析器:採spherical sector analyser加上multi-channeltron array,其theoretical energy resolution為20meV~8eV(CAE mode), 0.02%~2.0%(CRR mode).



中文名稱

歐傑電子影像能譜儀



廠牌及型號

英國 VG Scientific,Microlab 350.



EX05 Ion Gun

最大為5kv,可做清潔表面和depth profiling分析.maximum beam current>5uA at 4kV.



電腦作業系統

OS/2



加入貴儀年月

2002



 
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