歐傑電子影像能譜儀 ESCA000700
auger

Auger之電子槍:LEG 300-F electron column,最大電壓為25kV.

能量分析器:採spherical sector analyser加上multi-channeltron array,其theoretical energy resolution為20meV~8eV(CAE mode), 0.02%~2.0%(CRR mode).


收費表

最新收費標準



注意事項

收費以圖數為計費單位,但單張圖譜獲取數據時間超過一小時,則以小時為計費單位.

a. 待測樣品另收樣品處理費(由大氣進入超高真空儀器系統)$500/件.

b. 待測微區定位的能譜圖或影像圖,其費用為上述費用外加$200/定位.

c. 樣品鍍金費用$500/次.

d. 樣品真空測試費$500/30分鐘.

e. 所得數據以轉檔形式儲存於磁片或光碟提供給送檢單位,費用為$50/圖



回件時間

依待測樣品數量而定2個月。

請注意以下3點:

1.測完後,若有多的樣品只幫忙保留1個月,請在一個月內來取回,超過時間則丟掉。
2.若樣品一定要取回請在預約單上寫清楚,只限於wafer。
3.若樣品需要鍍金,請在預約單上寫清楚。


 
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