auger

Auger之電子槍:LEG 300-F electron column,最大電壓為25kV.

能量分析器:採spherical sector analyser加上multi-channeltron array,其theoretical energy resolution為20meV~8eV(CAE mode), 0.02%~2.0%(CRR mode).

服務項目

服務內容

AUGER全能譜圖

AUGER單元素能譜圖

AUGER元素影像掃描

AUGER氧化態影像掃描

動相AUGER縱深分布圖

靜相AUGER縱深分布圖

鑑定樣品表面各種化學元素之存在

鑑定樣品表面單一元素的不同氧化態的存在

獲取化學元素在樣品表面之二維分布影像圖

樣品單元速氧化態分布影像掃描

離子蝕擊下,樣品表層之各種化學元素的縱深分布

非離子蝕擊下,樣品表層之各種化學元素的縱深分布

AUGER開放使用時間及管理