1.TEM：

可進行微結構觀察、明視野、暗視野影像分析、電子繞射等分析。高解析TEM影像，300kV之TEM影像使用單光束能譜過濾器( Monochromator )輔佐影像球差修正器( Cs Image )解析度為0.06 nm。

2.STEM：

高解析掃描穿透明、暗視野 (HR STEM BF and DF)影像。300kV STEM影像輔佐球差修正器( Cs Probe )解析度為0.05 nm。

3.EDS元素分析：

不同維度之EDS定性及半定量成分分析。EDS搭配STEM的BF, DF2, DF4, HAADF偵測器同步獲取影像和光譜訊號可進行full frame、 選區和線掃描等掃描分析模式。