FEG-SEM：材料之微結構觀察

EDS：原子序6~92金屬與陶瓷試片之元素的定性、半定量、面掃描分析

EBSD

鍍金、鍍白金

鍍碳

相鑑定：只要能得到清楚的繞射圖形（如下圖），加上EDS，透過EBSP的電腦計算過後，即可做相鑑定的工作。

相鄰晶粒的結晶取向差異，高角度經界與低角度經界的顯像及定量測量。

次晶粒徑量測

獲得多晶材料的micro texture

檢查singal crystal 的完整性

裂縫與結晶面的關係

量測Grain misorientation angle distributions

各種單晶體及多晶體材料，只要牽涉到結晶關係之研究或檢測，皆可用EBSP進行研究，應用範圍廣。