場發射槍穿透式電子顯微鏡(300KV)

英文名稱：Philips Tecnai F30 Field Emission Gun Transmission Micro-scope (FEG-TEM),　EDAX Energy Dispersive X-Ray Spectrometer (EDS).

中文名稱：場發射槍穿透式電子顯微鏡（300kV）附加能量散佈分析儀

英文簡稱：FEG-TEM + EDS


儀器代碼	EM003800、EM0038

重要規格	電子源：熱陰極電子鎗倍率：最低 50x-最高 1,000,000x 傾斜角度：正負30度 Probe Size： Microprobe: 25 nm - 1 nm Nanoprobe: 2 nm – 0.2 nm (EDS可能因size太小而太弱) Resolution：取決於薄膜厚度，要達 2 Å 以下的解析度則要有良好的薄區條件。真空度 : 本機真空系統由四個 Ion Pump,一個 Turbo Pump, Diffusion Pump及Rotation Pump來維持真空,試片預抽由 Turbo Pump來負責。本儀器由CCD擷取影像檔。

儀器說明	購置年月：2001年2月15日經費來源：台灣大學2,200萬；國科會1,600萬