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光電子能譜儀 ESCA003500
服務項目
XPS: 全能譜圖(Survey)、單元素能譜圖(multiplex)、元素影像掃描(mapping)、角解析(Angle resolved XPS)、縱深分析(depth profiling)與SXI影像取像。
紫外光電子能譜(UPS): 能級信息(W.F, VBM)。
氬離子槍(Ar Ion Gun):表面清潔、縱深分析。
電荷中和系統(Neutralization): 樣品表面電荷中和。
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