本設備為化學分析電子能譜儀，其相關能力如下:
1. X射線光電子能譜儀:可對於物質表面進行定性及定量的化學分析，可得知相關元素鍵結狀態訊息和百分比的含量，基本功能有全能譜圖(Survey)、單元素能譜圖(multiplex)、元素影像掃描(mapping)、角解析(Angle resolved XPS)和縱深分析(depth profiling)。本設備使用Al Kα Monochromator (1486.6 eV) X-ray。Spot size 10~200 µm。解析度≦ 0.5eV at Ag 3d5/2 peak (@10um X-ray Spot)。分析面積≦ 10µm~1400µm。 角解析(請先與管理員討論)
2.紫外光電子能譜(UPS): 利用紫外光照射樣品所激發出的光電子提供有關價帶的能級信息(如W.F, VBM等)
3.電荷中和系統(: 可防止代測物在持續X-Ray激發下，表面所產生的電荷累積。本設備可自動調校中和條件，適用於所有不導電樣品及粗糙表面的精準電荷中和。
4. 氬離子槍(Ar Ion Gun):可執行樣品中和、清潔和深度剖析功能。
5. SXI成像系統: 可利用掃描X光激發的二次電子獲取樣品的表面形貌
6.載台種類: 1吋、兩吋(only XPS)、角解析載台。 |
