最新收費標準至國科會，於「主項儀器」輸入：ESCA003800後，點選左上角「查詢」

收費以小時為計費單位.

a. 每件待測樣品另收樣品處理費(由大氣進入超高真空儀器系統)(若經1小時仍無法達真空標準,則樣品退回;並付操作費用).

b. 所得數據以轉檔形式以電子郵件寄送至送檢單位提供之信箱.

依送樣當時待測樣品數量而定。