化學分析影像能譜儀 ESCA000600

高能量化學分析電子能譜儀儀器ESCA003800

xps



儀器代碼

ESCA0038ESCA003800



中文名稱

高能量化學分析電子能譜儀



英文名稱

Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy



廠牌及型號

ULVAC-PHI (Quantes)



儀器介紹

1.同焦Al Ka(1.4keV)和Cr Ka(5.4keV)的雙掃描X射線源。

2.掃描式聚焦 X 光源,可產生類SEM影像。

3.雙射線束電性中和系統。

4.分析範圍可從 7.5 μm 至 1400 um。

5.測試項目有全能譜圖、單元素能譜圖、元素線掃描分布、元素影像掃描分布、縱深分布、角度解析測試



EX05 Ion Gun

最大為5kV,可做清潔表面和Depth profiling分析.其Maximum Beam current>5uA at 4.



電腦作業系統

Windows 10



加入貴儀年月

2022年11月



 
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