化學分析影像能譜儀 ESCA000600
高能量化學分析電子能譜儀儀器ESCA003800
儀器代碼
ESCA0038、ESCA003800
中文名稱
高能量化學分析電子能譜儀
英文名稱
Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy
廠牌及型號
ULVAC-PHI (Quantes)
儀器介紹
1.同焦Al Ka(1.4keV)和Cr Ka(5.4keV)的雙掃描X射線源。
2.掃描式聚焦 X 光源，可產生類SEM影像。
3.雙射線束電性中和系統。
4.分析範圍可從 7.5 μm 至 1400 um。
5.測試項目有全能譜圖、單元素能譜圖、元素線掃描分布、元素影像掃描分布、縱深分布、角度解析測試
EX05 Ion Gun
最大為5kV,可做清潔表面和Depth profiling分析.其Maximum Beam current>5uA at 4.
電腦作業系統
Windows 10
加入貴儀年月
2022年11月
