場發射槍穿透式電子顯微鏡(300KV);附能量散布分析儀 EM003800
em4

英文名稱:Philips Tecnai F30 Field Emission Gun Transmission Micro-scope (FEG-TEM), EDAX Energy Dispersive X-Ray Spectrometer (EDS).

中文名稱:場發射槍穿透式電子顯微鏡(300kV)附加能量散佈分析儀

英文簡稱:FEG-TEM + EDS



儀器代碼

EM003800、EM0038



重要規格

電子源:熱陰極電子鎗

倍率:最低 50x-最高 1,000,000x

傾斜角度:正負30度

Probe Size: Microprobe: 25 nm - 1 nm

Nanoprobe: 2 nm – 0.2 nm (EDS可能因size太小而太弱)

Resolution:取決於薄膜厚度,要達 2 Å 以下的解析度則要有良好的薄區條件。

真空度 : 本機真空系統由四個 Ion Pump,一個 Turbo Pump, Diffusion Pump及Rotation Pump來維持真空,試片預抽由 Turbo Pump來負責。

本儀器由CCD擷取影像檔。



儀器說明

購置年月:2001年2月15日

經費來源:台灣大學2,200萬;國科會1,600萬



 
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