Field Emission Electron Probe Microanalyzer, JEOL JXA-8530F Plus
ULVAC VPS-020 Quick Coater
快速鍍碳機
儀器代碼
EPMA000300、EPMA0003
中文名稱
場發射電子微探儀
儀器規格
1.電子槍場發射式電子槍
2.四組WDS(8個分析晶體)，可分析範圍4Be～92U
3.一組EDS，可分析範圍5B～92U
